Ziggurat X magnetron sputter coater

 Ziggurat X magnetron sputter coater- One hundred and eight  systems in one

G0-I (Current Control Mode)

(DC-I-MSC)- DC Magnetron Sputter Coate

(DC-I-MSC+DCB)- DC Magnetron Sputter Coater+DC Bias

G1-V (Voltage Control Mode)

(DC-V-MSC)- DC Magnetron Sputter Coater

(DC-I-MSC+DCB)- DC Magnetron Sputter Coater+DC Bias

G1-V (Voltage Control Mode)

(DC-V-MSC)- DC Magnetron Sputter Coater

( DC-V-MSC+DCB)- DC Magnetron Sputter Coater+DC Bias

 G2-I (Current Control Mode U&B Low Power Real Pulse)

(ULP-I-RPMSC)- Unipolar Low Power Real Pulse Magnetron Sputter Coater

(BLP-I-RPMSC)-  Bipolar   Low Power Real Pulse Magnetron Sputter Coater

G3-V (Voltage Control Mode U&B Low Power Real Pulse)

(ULP-V-RPMSC)- Unipolar Low Power Real Pulse Magnetron Sputter Coater

(BLP-V-RPMSC)-  Bipolar   Low Power Real Pulse Magnetron Sputter Coater

G4-I (Current Control Mode U&B Low Power  Pulse)

(ULP-I-PMSC)- Unipolar Low Power Pulse Magnetron Sputter Coater

 (BLP-I-PMSC)-  Bipolar   Low Power Pulse Magnetron Sputter Coater

G5-V (Voltage Control Mode U&B Low Power Pulse)

(ULP-V-PMSC)- Unipolar Low Power Pulse Magnetron Sputter Coater

 (BLP-V-PMSC)-  Bipolar   Low Power Pulse Magnetron Sputter Coater

G6-I (Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Current)

(ULP-MRPCFL)-   Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Current based on Frequency

(ULP-MRPCFH)-   Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Current based on  Frequency

(ULP-MRPCDL)-   Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Current based on Duty cycle

(ULP-MRPCDH)-   Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Current based on Duty cycle

(ULP-MRPCFDL)- Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Current based on Frequency and Duty cycle

(ULP-MRPCFDH)- Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Current based on Frequency and Duty cycle

G7-V (Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage)

(ULP-MRPVFL)-   Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage based on Frequency

(ULP-MRPVFH)-   Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage based on  Frequency

(ULP-MRPVDL)-   Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage based on Duty cycle

(ULP-MRPVDH)-   Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage based on Duty cycle

(ULP-MRPVFDL)- Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage based on Frequency and Duty cycle

(ULP-MRPVFDH)- Unipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage based on Frequency and Duty cycle

G8-I (Bipolar Low Power Madulated Real Pulse Current)

 (BLP–MRPCFL)-     Bipolar Low Power Madulated Real Pulse Current based on Frequency

(BLP–MRPCFH)-     Bipolar Low Power Madulated Real Pulse Current based on Frequency

(BLP–MRPCDL)-     Bipolar Low Power Madulated Real Pulse Current based on Duty cycle

 (BLP–MRPCDH)-    Bipolar Low Power Madulated Real Pulse Current based on Duty cycle

 (BLP–MRPCFDL)-   BIipolar Low Power Madulated Real Pulse Current based on Frequency and Duty cycle

 (BLP–MRPCFDH)-   BIipolar Low Power Madulated Real Pulse Current based on Frequency and Duty cycle

G9-V (Bipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage)

 (BLP–MRPVFL)-     Bipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage based on Frequency

(BLP–MRPVFH)-     Bipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage  based on Frequency

(BLP–MRPVDL)-     Bipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage based on Duty cycle

 (BLP–MRPVDH)-    Bipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage based on Duty cycle

(BLP–MRPVFDL)-  BIipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage based on Frequency and Duty cycle

 (BLP–MRPVFDH)-   BIipolar Low Power Madulated Real Pulse Voltage based on Frequency and Duty cycle

G10-I (Unipolar Low Power Madulated Pulse Current)

(ULP-MPCFL)-  Unipolar Low Power Madulated Pulse Current based on Frequency

(ULP-MPCFH)-  Unipolar Low Power Madulated Pulse Current based on Frequency

(ULP-MPCDL)-  Unipolar Low Power Madulated Pulse Current based on Duty cycle

(ULP-MPCDH)-  Unipolar Low Power Madulated Pulse Current based on Duty cycle

(ULP-MPCFDL)- Unipolar Low Power Madulated Pulse Current based on Frequency and Duty cycle

 (ULP-MPCFDH)- Unipolar Low Power Madulated Pulse Current based on Frequency and Duty cycle

G11-V (Unipolar Low Power Madulated Pulse Voltage)

(ULP-MPVFL)-  Unipolar Low Power Madulated Pulse Voltage based on Frequency

(ULP-MPVFH)-  Unipolar Low Power Madulated Pulse Voltage based on Frequency

(ULP-MPVDL)-  Unipolar Low Power Madulated Pulse Voltage based on Duty cycle

(ULP-MPVDH)-  Unipolar Low Power Madulated Pulse Voltage based on Duty cycle

 (ULP-MPVFDL)- Unipolar Low Power Madulated Pulse Voltage based on Frequency and Duty cycle

 (ULP-MPVFDH)- Unipolar Low Power Madulated Pulse Voltage based on Frequency and Duty cycle

G12-I (Low Power Madulated Pulse Current)

 (LP-MPPFL+DCB)-  Low Power Madulated Pulse Current based on Frequency + DC Bias

(LP-MPPFH+DCB)-  Low Power Madulated Pulse Current based on Frequency + DC Bias

(LP-MPPDL+DCB)-  Low Power Madulated Pulse Current based on Duty cycle +DC Bias

(LP-MPPDH+DCB)-  Low Power Madulated Pulse Current based on Duty cycle +DC Bias

 (LP-MPPFDL+DCB)- Low Power Madulated Pulse Current based on Frequency and Duty+DC Bias

 (LP-MPPFDH+DCB)- Low Power Madulated Pulse Current based on Frequency and Duty+DC Bias

 G13-V (Low Power Madulated Pulse Voltage)

 (LP-MPVFL+DCB)-  Low Power Madulated Pulse Voltage based on Frequency + DC Bias

(LP-MPVFH+DCB)-  Low Power Madulated Pulse Voltage based on Frequency + DC Bias

(LP-MPVDL+DCB)-  Low Power Madulated Pulse Voltage based on Duty cycle +DC Bias

(LP-MPVDH+DCB)-  Low Power Madulated Pulse Voltage based on Duty cycle +DC Bias

 (LP-MPVFDL+DCB)- Low Power Madulated Pulse Voltage based on Frequency and Duty+DC Bias

 (LP-MPVFDH+DCB)- Low Power Madulated Pulse Voltage based on Frequency and Duty+DC Bias

G14-I (Unipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack)

 (ULP–MCRPPFL)-     Unipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack based on Frequency

(ULP–MCRPPFH)-     Unipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack based on Frequency

(ULP–MCRPPDL)-     Unipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack based on Duty cycle

 (ULP–MCRPPDH)-    Unipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack based on Duty cycle

ULP–MCRPPFDL)-   Unipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack based on Frequency and Duty

ULP–MCRPPFDH)-  Unipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack based on Frequency and Duty

G15-V (Unipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack)

 (ULP–MVRPPFL)-     Unipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack based on Frequency

 (ULP–MVRPPFH)-     Unipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack  based on Frequency

(ULP–MVRPPDL)-     Unipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack based on Duty cycle

(ULP–MVRPPDH)-    Unipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack based on Duty cycle

 ULP–MVRPPFDL)-  Unipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack based on Frequency and Duty

 ULP–MVRPPFDH)-   Unipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack based on Frequency and Duty

G16-I (Bipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack)

(BLP–MCRPPFL)-     Bipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack based on Frequency

 (BLP–MCRPPFH)-     Bipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack based on Frequency

(BLP–MCRPPDL)-     Bipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack based on Duty cycle

(BLP–MCRPPDH)-    Bipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack based on Duty cycle

BLP–MCRPPFDL)-   BIipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack based on Frequency and Duty

BLP–MCRPPFDH)-   BIipolar Low Power Madulated Current Real Pulse Pack based on Frequency and Duty

G17-V (Bipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack)

(BLP–MVRPPFL)-     Bipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack based on Frequency

(BLP–MVRPPFH)-     Bipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack  based on Frequency

(BLP–MVRPPDL)-     Bipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack based on Duty cycle

 (BLP–MVRPPDH)-    Bipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack based on Duty cycle

BLP–MVRPPFDL)-  BIipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack based on Frequency and Duty

 BLP–MVRPPFDH)-   BIipolar Low Power Madulated Voltage Real Pulse Pack based on Frequency and Duty

    G18-I (Current Control Mode Madulated Current Pulse Pack)

(LP-MCPPFL)-  Low Power Madulated Current Pulse Pack based on Frequency

(LP-MCPPFH)-  Low Power Madulated Current Pulse Pack based on Frequency

(LP-MCPPDL)-  Low Power Madulated Current Pulse Pack based on Duty cycle

(LP-MCPPDH)-  Low Power Madulated Current Pulse Pack based on Duty cycle

 (LP-MCPPFDL)- Low Power Madulated Current Pulse Pack based on Frequency and Duty

 (LP-MCPPFDH)- Low Power Madulated Current Pulse Pack based on Frequency and Duty

 G19-V (Voltage Control Mode Madulated Voltage Pulse Pack)

 (LP-MVPPFL)-  Low Power Madulated Voltage Pulse Pack based on Frequency

(LP-MVPPFH)-  Low Power Madulated Voltage Pulse Pack based on Frequency

(LP-MVPPDL)-  Low Power Madulated Voltage Pulse Pack based on Duty cycle

(LP-MVPPDH)-  Low Power Madulated Voltage Pulse Pack based on Duty cycle

(LP-MVPPFDL)- Low Power Madulated Voltage Pulse Pack based on Frequency and Duty

(LP-MVPPFDH)- Low Power Madulated Voltage Pulse Pack based on Frequency and Duty

G20-I (Low Power Madulated Current Pulse Pack)

(LP-MCPPFL+DCB)-  Low Power Madulated Current Pulse Pack based on Frequency + DC Bias

(LP-MCPPFH+DCB)-  Low Power Madulated Current Pulse Pack based on Frequency + DC Bias

(LP-MCPPDL+DCB)-  Low Power Madulated Current Pulse Pack based on Duty cycle +DC Bias

(LP-MCPPDH+DCB)-  Low Power Madulated Current Pulse Pack based on Duty cycle +DC Bias

 (LP-MCPPFDL+DCB)- Low Power Madulated Current Pulse Pack based on Frequency and Duty+DC Bias

 (LP-MCPPFDH+DCB)- Low Power Madulated Current Pulse Pack based on Frequency and Duty+DC Bias

 G21-V ( Low Power Madulated Voltage Pulse Pack)

 (LP-MVPPFL+DCB)-  Low Power Madulated Voltage Pulse Pack based on Frequency + DC Bias

(LP-MVPPFH+DCB)-  Low Power Madulated Voltage Pulse Pack based on Frequency + DC Bias

(LP-MVPPDL+DCB)-  Low Power Madulated Voltage Pulse Pack based on Duty cycle +DC Bias

(LP-MVPPDH+DCB)-  Low Power Madulated Voltage Pulse Pack based on Duty cycle +DC Bias

 (LP-MVPPFDL+DCB)- Low Power Madulated Voltage Pulse Pack based on Frequency and Duty+DC Bias

(LP-MVPPFDH+DCB)- Low Power Madulated Voltage Pulse Pack based on Frequency and Duty+DC Bias

 

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